MegAAOI : SPRING PROBE(探針卡）AI 智慧瑕疵檢測

方案說明

探針卡AI AOI瑕疵檢測又快又準、讓人力複檢更省力

半導體產業是台灣非常重要的科技產業，現在製程技術不斷地在提升，產品設計越來越精細尺寸越來越小。IC 在製造過程中各種
因素產生瑕疵，有部分瑕疵必須使用高倍率電子顯微鏡才能找出，使得產品品質控管是個中要課題。
現在客戶對產品品質要求越來越高，傳統用人力目檢的方式繼花費人力有花費時間且每個人對瑕疵的判斷不一致，加上目檢會造成
人力疲勞產生誤判，這樣的方式已經無法符合客戶的需求。

IC 測試插座中的彈簧探針目前由人工檢查員檢查
• 對於人工檢查，每1000 個探頭需要15 分鐘。 一個6000個探針的測試座，質檢需要將近1.5小時
• 一名經驗豐富的檢驗員至少需要6個月的培訓時間，而且熟練的檢驗員也很難留住
• 台灣用工荒普遍，外籍短工無法替代
• 由於缺乏熟練的檢測人員，成為測試座生產的瓶頸

AI應用技術
AI賦能測試座探針瑕疵檢測
運用 Intel NUC 做邊緣運算裝置並且使用 Intel OpenVINO 在硬體上機加速優化，並於2022年頒予MRS標章 (Market Ready Solution) ，以認證其產品的高可用性與可靠性。而作為Intel MRS合作夥伴，持續不斷研發與創新提供更多優異的產品以及解決方案。

物聯網方案應用

光源設計是視覺系統中的相當關鍵的因素，其目的是為了取得品質較好的影像，以便減少影像前處理的步驟。
此方案透過線掃描技術方法，針對探針產品建構檢測系統，協助檢驗探針瑕疵。

Customized AOI line scanner:

• Size: W144.2mm*H192mm*L154.5mm

• Resolution: 38,720dpi (0.656μm/pixel,

  monochrome)

• Max. scan width (X axis): 6.3mm

• Scan speed (Y axis): 2.3mm/sec

• DOF: 0.1mm

• Working distance: 20mm

取像結果 ( 看得到才有機會做辨識）

機械控制與AI邊緣運算

• Industrial grade, light-weight Intel NUC

• CPU for image capturing and pre-processing;
  while suing embedded iGPU for AOI AI model inferencing
• The AOI machine is currently in a standalone mode. A RJ- 45 port is reserved for future MIS/ERP connectivity via Intranet
• Pre-plan for hybrid cloud AI follow-on operation and support (O&S)

支持 AIoT 的 AOI 架構



經過 AI AOI 辨識後探針結果
OK Photo (4TIPS)

NG Photo (4TIPS)

OK Photo (9TIPS)

NG Photo ( 9TIPS)

物聯網方案規格

機器外觀

關於 MegAAOI 探針 AI AOI 智慧檢測 相關服務資訊，請逕洽：
James Tu

杜灝叡 James Tu
Tel: 0939868907
Email: jamestu@sertek.com.tw

合作夥伴

兆米智慧檢測